PE-200型等离子表面处理系统
PE-200是一款工业强度的等离子清洗系统,牢固可靠,而且性价比高,适合各类制造型企业能满足7天X24小时不间断运行。全铝反应腔提供非常充裕的尺寸,可处理表面积超过500平方英寸。
PE-200焊接铝真空反应腔包含一个宽松的500平方英寸的有效等离子处理面积。通过PLASMETCH表面改性可以获得增强的结合力和提升多数表面材料的洁净度。
典型的客户包括:先进生产制造工程,研究和开发实验室,测试工厂以及大学。工业客户包括生物医药,牙科,电子,光电子,医疗器械,塑料,光学,太阳能电池电池板等。.
特性:
使用我们的等离子清洗机处理,相比较化学浸泡方法,可以避免昂贵的有害化学废水处理。等离子处理非常容易使用,通过导引型触摸屏操作控制等离子过程的各个参数,来确保高重复性。
我们可以为客户定制反应腔和电极,来满足您的产品或是过程需要,包括定制尺寸水平电极,RIE(反应离子蚀刻)和半导体引线边框的布局。
标准配置:
焊接铝真空反应腔
3层水平处理电极13”宽x16”深3”间隔距离
300瓦射频发生器@13.56MHZ带自动匹配网络
一个200sccm质量流量控制器
皮拉尼真空计0-1托
微处理器控制系统,带触摸屏界面,存储20组过程参数
PE-200提供三种功能配置:
1.常规的等离子清洗和等离子蚀刻
2.反应离子蚀刻(RIE)
3.PE-200可转换配置,一个系统包含各向异性和各向同性等离子体处理可移除托盘配置。
选项
静电防护
过程温度控制
600W射频发生器@13.56MHz带600W自动匹配网络
信号灯塔
2个质量流量控制器(最多3个)
软件选择5种过程气体输入矩阵
控制氮气输入速率
定制反应腔尺寸和电极尺寸
RIE(反应离子蚀刻)配置
客户制作各种陶瓷部件,为了检测等离子处理这些陶瓷的效果,处理前后进行接触角测试。处理前,接触角88度。处理后,接触角降低到12度。接触角在每个样品的5个位置进行测试,接触角偏差2度。接下来的测试显示,接触角较低会显著提升结合力。