全国服务热线：
021-35359028
邮箱地址：
admin@instsun.com
021-35359028
admin@instsun.com
Products
上海昭沅可根据客户需求提供各种刻蚀解决方案！
把未被抗蚀剂掩蔽的薄膜层除去，从而在薄膜上得到与抗蚀剂膜上完全相同图形的工艺。在集成电路制造过程中，经过掩模套准、曝光和显影，在抗蚀剂膜上复印出所需的图形，或者用电子束直接描绘在抗蚀剂膜上产生图形，然后把此图形精确地转移到抗蚀剂下面的介质薄膜（如氧化硅、氮化硅、多晶硅）或金属薄膜（如铝及其合金）上去，制造出所需的薄层图案。刻蚀就是用化学的、物理的或同时使用化学和物理的方法，有选择地把没有被抗蚀剂掩蔽的那一部分薄膜层除去，从而在薄膜上得到和抗蚀剂膜上完全一致的图形。
刻蚀技术主要分为干法刻蚀与湿法刻蚀。干法刻蚀主要利用反应气体与等离子体进行刻蚀；湿法刻蚀主要利用化学试剂与被刻蚀材料发生化学反应进行刻蚀。
离子束刻蚀，深硅刻蚀，反应离子刻蚀，聚焦离子束刻蚀等；
刻蚀材料：硅、氧化硅、氮化硅、石英、蓝宝石等；
主要应用于半导体器件、集成电路、薄膜电路等；
上海市浦东新区巨峰路1058弄新紫茂国际大厦3号楼901室
admin@instsun.com
021-35359028
1399511421
38012725
