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光刻掩膜版

上海昭沅提供石英基片、石英板、菲林板等光刻掩膜版,根据客户需求定制!

上海昭沅提供石英基片、石英板、菲林板等光刻掩膜版,根据客户需求定制!

 

掩膜版(Photomask),又称光罩、光掩膜、光刻掩膜版等,是微电子制造中光刻工艺所使用的图形母版, 由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜图形,并通过曝光将图形转印到产品基板上。掩膜版是芯片制造过 程中的图形“底片”,用于转移高精密电路设计,承载了图形设计和工艺技术等知识产权信息。掩模版用于芯片 的批量生产,是下游生产流程衔接的关键部分,是芯片精度和质量的决定因素之一。

 

掩膜版根据基板材质的不同可分为石英掩膜版、苏打掩膜版和其他(包含凸版、菲林)。石英掩膜版使用 石英玻璃作为基板材料,光学透过率高,热膨胀率低,相比苏打玻璃更为平整耐磨,使用寿命长,主要用于高 精度掩膜版;苏打掩膜版则使用苏打玻璃作为基板材料,光学透过率较高,热膨胀率相对高于石英玻璃,平整 度和耐磨性相对弱于石英玻璃,主要用于中低精度掩膜版;而凸版使用不饱和聚丁二烯树脂作为基板材料,主 要用于液晶显示器(LCD)制造过程中的定向材料移印;菲林使用 PET 作为基板材料,主要用于电路板掩膜。

 

 

 

 

 

 

 

2.5英寸-9英寸尺寸范围都可定制。

 

 

 

掩膜版应用十分广泛,在涉及光刻工艺的领域都需要使用掩膜版。

 

 

 

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