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真空等离子清洗机是气体分子在真空和放电等特殊场合产生的物质。用于产生等离子体的清洁蚀刻装置布置在密封容器中。真空等离子清洗机通过两个电极形成电磁场，并使用真空泵达到一定的真空度。随着气体变得越来越稀薄，分子间距和分子活动的自由运动距离变得越来越长。在磁场的作用下，发生碰撞形成等离子体。与此同时，辉光将会出现。等离子体在电磁场中空间移动，轰击待处理物体的表面，去除油污和表面氧化物、灰表面有机物和其他化学物质，从而达到表面处理、清洗和刻蚀的效果。选择性表面改性可以通过等离子体处理工艺实现。
大气等离子清洗机由等离子发生器、输气管道、等离子喷嘴等部件组成。等离子体发生器产生的高压高频能量在喷嘴钢管内被激活和控制的辉光放电中产生低温等离子体。等离子体通过压缩空气喷射到工件表面。当等离子体遇到待处理物体的表面时，物体会发生变化和化学反应。表面已清洗干净，并有碳化氢污染物，如油脂和辅助添加剂等已经被移除。这些基因可以促进各种涂层材料的粘附，并在粘附和涂料应用中得到优化。在相同的效果下，通过应用等离子体处理表面可以获得非常薄的高压涂层表面，这有利于粘合、涂覆和印刷。不需要机械和化学处理等其他强作用部件来增加粘附性。
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