德国Kleindiek微操纵仪
德国Kleindiek Nanotechnik超微操纵仪的驱动单元是由压电陶瓷构成的纳米马达，因此它最大的特点是能够进行纳米级精确移动，也可以同时做到毫米级的移动范围，整个操纵装置全部由纳米马达驱动，从而保证了系统体积非常小，可以很容易地放入电子显微镜腔室内。
德国KleindiekNanotechnik生产的纳米显微操纵仪的突出特点：
纳米操纵精确度：安装在MM3A操纵臂前端的钨探针在X，Y方向最小移动距离为5nm，在Z方向最小移动距离为0.5nm。
快慢可调的操作速度：可以选择一个步进0.5nm，也可以选择最大移动速度1cm/S。MM3A将大范围和超精细操作完美地结合在一起。
紧凑的结构设计：MM3A体积小，可以很宽松地在电镜腔室内安装1~8个系统。
三维大空间操作范围：X、Y方向可以做240度的旋转，Z轴方向做12mm的伸长，MM3A可操作的空间范围最大达100cm3。
几乎无漂移：我们曾经做过实验MM3A钨探针针尖在场发射电镜放大100K条件下每隔一分钟拍一张照片，持续一小时后通过对照片的分析得出，在排除电镜电压不稳定因素外，MM3A几乎不产生漂移。
与电镜的连接：MM3A安装在加工好的平台上，该平台再固定在电镜的样品台上，整个安放过程十分方便，几分钟就可完成，不使用时将平台卸下取出既可。控制线通过电镜腔室上的空法兰穿出并密封，不会影响电镜的真空。
技术参数：
Length/Width/Height60/22/25mm
OperatingrangeXY/Z240°/12mm
ScanrangeX/Y/Z20/15/1µm
MaxSpeedXY/Zupto10/2mm/s
ResolutionX10-7rad(5nm)
ResolutionY10-7rad(3.5nm)
ResolutionZ0.25nm
HysterisisdeviationZ<200nm
HysterisisAngle(α)Z<10°(0.2rad)
Lowesttemp273K
Highesttemp353K
Lowestpressure10-7mbar
Holdingforce1N
Holdingtorque3Nmm-4Nmm
LiftY5g
Signalresistance(probing)7.0Ω
Maxvoltage(probing)100V；Maxcurrent（probing）100mA
测量材料电学性能
在扫描电镜中操作，进行断裂试验，微焊接
移动纳米级微小颗粒
半导体失效分析
光阑定位仪
作为SPM用在SEM中
